作為微納光學(xué)領(lǐng)域較前沿的技術(shù)方向,超構(gòu)表面在學(xué)術(shù)界和工業(yè)界都備受關(guān)注,一方面得益于其豐富的功能和靈活的調(diào)制手段,另一方面得益于與多種傳統(tǒng)光學(xué)組件優(yōu)異的集成能力。目前,超構(gòu)表面器件已經(jīng)被證明與光發(fā)射器件LED、電荷耦合元件CCD、微機(jī)電系統(tǒng)MEMS、液晶器件LC、平面波導(dǎo)和光纖等器件的集成,用于大幅改進(jìn)傳統(tǒng)光學(xué)元件的集成度和性能。該推文將詳細(xì)介紹作為新一代集成光學(xué)平臺(tái)——超構(gòu)表面的應(yīng)用,同時(shí)分析其未來(lái)的商用化進(jìn)展。在半導(dǎo)體行業(yè)中,光學(xué)平臺(tái)用于鍍膜、刻蝕等工藝的光學(xué)測(cè)試。江蘇光學(xué)平臺(tái)工作原理
鋼制的蜂窩芯結(jié)構(gòu)從頂板延伸到底板,中間并無(wú)塑料或鋁質(zhì)泄露管理結(jié)構(gòu),因此不會(huì)降低平臺(tái)整體的剛度或是引入更高的熱膨脹系數(shù)。我們采用鋼質(zhì)側(cè)板,而不是木板,這樣就消除了由于濕度而引起的環(huán)境不穩(wěn)定因素。類型:光學(xué)平臺(tái)從功能上分為固定式和可調(diào)式;被動(dòng)或主動(dòng)式。應(yīng)用:光學(xué)平臺(tái)普遍應(yīng)用于光學(xué)、電子、精密機(jī)械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和無(wú)損檢測(cè)等領(lǐng)域,以及其他機(jī)械行業(yè)的精密試驗(yàn)儀器、設(shè)備振動(dòng)隔離的關(guān)鍵裝置中。主要構(gòu)成:標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)平臺(tái)基本組件包括:1、頂板;2、底板;3、側(cè)面精加工貼臉;4、側(cè)板;5、蜂窩芯;6、密封杯等。深圳無(wú)磁光學(xué)面包板把手隨著技術(shù)的發(fā)展,光學(xué)平臺(tái)也逐漸向智能化和自動(dòng)化方向發(fā)展。
光學(xué)平臺(tái)所涉及的相關(guān)參數(shù):1.固有頻率:光學(xué)平臺(tái)的固有頻率也叫平臺(tái)振動(dòng)的周期或頻率,它只與系統(tǒng)的固有特性有關(guān),與外界條件無(wú)關(guān)。所以,固有頻率越低的,光學(xué)平臺(tái)的隔振性能越強(qiáng)。當(dāng)物體的固有頻率與外界發(fā)生的振動(dòng)相同時(shí),會(huì)引發(fā)共振,這并不是什么好事,有可能引發(fā)嚴(yán)重后果。固有頻率分水平和垂直兩個(gè)方向,其中垂直方向的固有頻率對(duì)整體系統(tǒng)隔振的性能起決定性影響。2.平面度:光學(xué)平臺(tái)平面度是指單位面積里,被測(cè)的實(shí)際平面相比理想平面變動(dòng)的量。國(guó)外光學(xué)平臺(tái)平面度指標(biāo)通常是:±0.1mm/600mm×600mm。
超構(gòu)表面器件作為納米級(jí)厚度的光學(xué)元件,多參數(shù)靈活調(diào)控的特性為解決上述問題提供了重要的手段。通過將超構(gòu)表面器件集成在折射光學(xué)元件的表面,可以賦予光場(chǎng)新的屬性。例如不同屬性的透鏡,通過集成超表面可以實(shí)現(xiàn)完全不同的聚焦成像功能;將超表面與透鏡集成可以有效的調(diào)控色散,實(shí)現(xiàn)寬帶消色差成像功能;又比如將超透鏡設(shè)計(jì)為空間板的功能,可以有效壓縮透鏡的焦距,大幅度減少成像系統(tǒng)的空間體積。折衍射混合成像系統(tǒng)同時(shí)包含了折射光學(xué)元件和超構(gòu)透鏡的優(yōu)勢(shì),同時(shí)降低了自身的弊端,是被認(rèn)為較接近商業(yè)化應(yīng)用的成像系統(tǒng),期待在未來(lái)幾年布局手機(jī)相機(jī)領(lǐng)域中。根據(jù)用途,光學(xué)平臺(tái)可分為精密平臺(tái)和標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái),適用于不同的實(shí)驗(yàn)要求。
光學(xué)平臺(tái)的適應(yīng)多種應(yīng)用場(chǎng)景:光學(xué)平臺(tái)普遍應(yīng)用于科學(xué)研究、工業(yè)生產(chǎn)和教育領(lǐng)域,例如:激光加工與測(cè)量;光學(xué)成像與顯微技術(shù);干涉測(cè)量與精密定位;天文觀測(cè)與望遠(yuǎn)鏡校準(zhǔn);光學(xué)平臺(tái)的關(guān)鍵特性;高平整度:平臺(tái)表面經(jīng)過精密加工,確保光學(xué)元件能夠精確對(duì)齊。低熱膨脹系數(shù):采用特殊材料(如花崗巖或復(fù)合材料),減少溫度變化引起的尺寸變化。高剛性:能夠承受較大的載荷而不發(fā)生明顯形變。減振性能:內(nèi)置減振裝置,有效隔離外部振動(dòng)。模塊化設(shè)計(jì):標(biāo)準(zhǔn)化的安裝孔布局方便用戶快速搭建和調(diào)整光學(xué)系統(tǒng)。光學(xué)平臺(tái)的抗擾動(dòng)能力確保其在各種實(shí)驗(yàn)條件下持續(xù)運(yùn)行。重慶光學(xué)平臺(tái)價(jià)格
移動(dòng)式光學(xué)平臺(tái)為需要頻繁更換實(shí)驗(yàn)環(huán)境的科研工作者提供了便利。江蘇光學(xué)平臺(tái)工作原理
超構(gòu)表面集成的折射光學(xué)元件:上一個(gè)模塊介紹了兩種主流方案用于動(dòng)態(tài)可調(diào)集成超表面,該模塊介紹超構(gòu)表面與傳統(tǒng)光學(xué)元件的集成。首先介紹折衍射混合集成超表面。折射光學(xué)元件,包括透鏡和棱鏡等,作為光學(xué)領(lǐng)域的較基礎(chǔ)元件,應(yīng)用在幾乎所有的成像系統(tǒng)中。但是,傳統(tǒng)的棱鏡存在色散、像散等問題,導(dǎo)致成像質(zhì)量下降。為解決該問題,常規(guī)的方案是透鏡組級(jí)聯(lián)的形式,通過不斷優(yōu)化透鏡組的品質(zhì),達(dá)到較好的成像效果。但是該方案毫無(wú)疑問會(huì)帶來(lái)復(fù)雜的光路系統(tǒng)和龐大的空間體積,較直觀的感受就是目前的智能手機(jī)后背,高高凸起的攝像頭模組。江蘇光學(xué)平臺(tái)工作原理