化合物半導體（如 GaN、SiC）的低溫沉積工藝對設備溫控精度要求苛刻，傳統(tǒng)垂直爐難以滿足需求。廣東華芯半導體技術有限公司研發(fā)的低溫垂直爐系統(tǒng)，可在 300-800℃范圍內(nèi)實現(xiàn)精細控溫，溫度波動≤±0.3℃，特別適用于對熱敏感的化合物材料生長。其主要技術在于采用紅外加熱與射頻感應加熱的復合方式，使熱量直接作用于襯底表面，而非整體加熱爐管，大幅降低熱損耗與升溫時間。在某 5G 射頻器件生產(chǎn)中，該設備在 550℃下完成 GaN 外延層沉積，晶體質(zhì)量（XRD 半高寬＜20arcsec）與高溫生長相當，但避免了高溫導致的襯底損傷，器件擊穿電壓提升 20%。廣東華芯半導體技術有限公司的低溫技術還通過了汽車級可靠性認證，可用于車規(guī)級 SiC 功率器件的量產(chǎn)。垂直爐優(yōu)化半導體分立器件制造工藝，提升器件性能。長春智能型垂直爐定制

航空航天領域?qū)Ω邷睾辖鹦阅芤髽O為嚴苛，垂直爐在高溫合金熔煉過程中發(fā)揮著關鍵作用。高溫合金熔煉需要精確控制溫度、氣氛以及熔煉時間，以保證合金成分均勻、性能穩(wěn)定。廣東華芯半導體技術有限公司的垂直爐，采用先進的加熱與溫控系統(tǒng)，能將熔煉溫度精確控制在極小范圍內(nèi)，確保合金在熔煉過程中各元素充分溶解與混合。同時，垂直爐的超潔凈氣氛控制，有效防止合金在熔煉過程中被氧化或污染，保證合金的純凈度。在熔煉一些特殊高溫合金時，垂直爐可根據(jù)合金成分與性能要求，靈活調(diào)整熔煉工藝參數(shù)，實現(xiàn)個性化熔煉。垂直爐為航空航天領域提供高質(zhì)量的高溫合金坯料，保障航空發(fā)動機、飛行器結(jié)構件等關鍵部件在極端工況下的可靠性與安全性，推動航空航天技術不斷進步。廈門智能型垂直爐定制垂直爐可定制工藝，滿足不同企業(yè)獨特需求。

外延生長對氣體環(huán)境的純度與流量穩(wěn)定性要求極高，任何微小波動都可能導致材料缺陷。廣東華芯半導體技術有限公司的垂直爐配備了超高精度氣體控制系統(tǒng)，采用進口質(zhì)量流量控制器（MFC），流量控制精度達 ±0.5% FS，支持 8 路氣體同時通入（如硅烷、氨氣、氮氣等），且氣體切換響應時間＜1 秒。設備的氣路系統(tǒng)經(jīng)過電解拋光與超潔凈清洗處理，內(nèi)壁粗糙度 Ra＜0.02μm，可有效減少氣體吸附與殘留，確保通入爐膛的氣體純度≥99.9999%。在某第三代半導體企業(yè)的氮化鎵外延片生產(chǎn)中，該系統(tǒng)將外延層的雜質(zhì)濃度控制在 1×101? cm?3 以下，位錯密度降至 5×10? cm?2，為高功率器件制造提供了優(yōu)良襯底材料。廣東華芯半導體技術有限公司還提供定制化氣路設計服務，可根據(jù)客戶工藝需求增加氣體純化裝置，進一步提升氣體純度。

太陽能光熱發(fā)電作為一種重要的可再生能源利用方式，對集熱器涂層的性能要求極高，垂直爐在集熱器涂層制備工藝中發(fā)揮著關鍵作用。太陽能集熱器涂層需要具備高吸收率和低發(fā)射率的特性，以提高太陽能的吸收效率和減少熱量損失。垂直爐可用于集熱器涂層的制備，通過精確控制溫度、氣體流量和沉積時間，使涂層材料均勻沉積在集熱器表面，形成高質(zhì)量的涂層。例如，在制備選擇性吸收涂層時，垂直爐精細的溫度控制確保涂層材料在高溫下發(fā)生化學反應，形成具有特殊微觀結(jié)構的涂層，使其對太陽輻射具有高吸收率，對熱輻射具有低發(fā)射率。垂直爐內(nèi)穩(wěn)定的氣氛環(huán)境，保證涂層在制備過程中不受雜質(zhì)污染，提高涂層的穩(wěn)定性和耐久性。垂直爐為太陽能光熱發(fā)電設備制造企業(yè)提供了可靠的集熱器涂層制備設備，助力提高太陽能光熱發(fā)電效率，推動太陽能光熱發(fā)電產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。垂直爐的遠程監(jiān)控功能，讓設備運行盡在掌握。

廣東華芯半導體技術有限公司在設計垂直爐時充分考慮了維護保養(yǎng)的便捷性，為用戶降低維護成本、提高設備使用壽命提供了有力支持。垂直爐采用模塊化設計，各個功能模塊，如加熱模塊、溫控模塊、氣體控制模塊等，相互獨立且易于拆卸和安裝。當某個模塊出現(xiàn)故障時，維修人員能夠快速定位并更換相應模塊，縮短了維修時間。例如，若加熱模塊中的加熱元件損壞，維修人員可直接將加熱模塊拆卸下來，更換新的加熱元件后再安裝回去，整個過程操作簡單，無需對整個設備進行大規(guī)模拆解。垂直爐的內(nèi)部結(jié)構設計合理，預留了足夠的空間便于日常清潔和檢查。爐體內(nèi)部的易損部件，如溫度傳感器、氣體過濾器等，位置便于接近，方便維修人員定期進行檢查和維護，及時發(fā)現(xiàn)潛在問題并進行處理。設備還配備了智能化的維護提醒系統(tǒng)，可根據(jù)設備運行時間、關鍵部件使用次數(shù)等數(shù)據(jù)，提前預警維護需求，幫助用戶合理安排維護計劃，避免因設備故障導致生產(chǎn)中斷，降低維護成本，提高設備的整體運行效率。垂直爐的多重安全防護，確保操作安全無憂。廈門智能型垂直爐定制

珠寶行業(yè)用垂直爐，提升珠寶品質(zhì)與附加值。長春智能型垂直爐定制

在倡導綠色發(fā)展與資源循環(huán)利用的時代背景下，垂直爐在工業(yè)廢棄物無害化處理與資源回收方面展現(xiàn)出獨特價值。對于含重金屬的工業(yè)廢棄物，如電子垃圾中的線路板，垂直爐可通過高溫熔煉與氣化工藝，將其中的金屬與非金屬分離。垂直爐精確的溫度控制確保在合適溫度下，重金屬被還原熔煉，而非金屬雜質(zhì)則被氣化排出，實現(xiàn)重金屬的高效回收。在處理有機工業(yè)廢棄物時，垂直爐在無氧或低氧環(huán)境下進行熱解處理，將有機廢棄物轉(zhuǎn)化為可燃氣體、液體燃料與固體炭黑等有用資源，同時實現(xiàn)廢棄物的無害化處理。垂直爐還可根據(jù)不同工業(yè)廢棄物的成分與性質(zhì)，調(diào)整工藝參數(shù)，實現(xiàn)個性化處理。垂直爐為工業(yè)企業(yè)提供了一種環(huán)保、高效的廢棄物處理與資源回收解決方案，助力企業(yè)降低環(huán)境風險，提高資源利用效率，實現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展。長春智能型垂直爐定制