臺寶艾 TBI 滾珠絲桿按 JIS 標(biāo)準(zhǔn)達(dá)到 C5 級精度,螺距累積誤差≤15μm/300mm,適用于機(jī)械行業(yè)的精密傳動場景。在數(shù)控機(jī)床的 Z 軸進(jìn)給系統(tǒng)中,絲桿的高剛性設(shè)計(jì)(長徑比≤40)可承受 2000N 的軸向載荷,配合伺服電機(jī)實(shí)現(xiàn) 0.001mm / 脈沖的進(jìn)給分辨率。對于重型機(jī)械如注塑機(jī)模板移動機(jī)構(gòu),采用大導(dǎo)程(20-50mm)滾珠絲桿,通過加大滾珠直徑(φ8-φ12mm)提升額定動載荷至 150kN 以上,確保模板移動速度達(dá) 500mm/s 時的平穩(wěn)性,降低機(jī)械振動對成型精度的影響。高速運(yùn)轉(zhuǎn)的滾珠絲桿需要配備良好的散熱裝置。深圳自動化滾珠絲桿代理商
深圳市臺寶艾傳動科技有限公司的 TBI 滾珠絲桿采用雙螺母預(yù)緊結(jié)構(gòu),軸向間隙控制在 10μm 以內(nèi),滿足半導(dǎo)體光刻機(jī)晶圓平臺納米級定位精度要求。絲桿軸體采用高碳鉻軸承鋼(GCr15),經(jīng)淬火回火處理后硬度達(dá) HRC60-62,配合研磨級滾道(表面粗糙度 Ra≤0.1μm),在半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備中實(shí)現(xiàn)重復(fù)定位精度 ±5μm。針對半導(dǎo)體行業(yè)潔凈需求,滾珠絲桿可選配全封閉防塵罩(材質(zhì)為不銹鋼),并通過真空鍍膜工藝在螺母表面形成 DLC 類金剛石涂層,降低摩擦系數(shù)至 0.008-0.012,避免金屬碎屑污染晶圓制程環(huán)境。旋轉(zhuǎn)滾珠絲桿代理滾珠絲桿的滾珠循環(huán)方式有內(nèi)循環(huán)和外循環(huán)兩種。
滾珠絲桿的材料技術(shù)與半導(dǎo)體環(huán)境兼容性針對半導(dǎo)體行業(yè)的腐蝕性氣體環(huán)境(如 Cl?、NF?),臺寶艾滾珠絲桿可選配 316L 不銹鋼材質(zhì),經(jīng)電解拋光處理后表面粗糙度 Ra≤0.2μm,鹽霧測試(NSS)1000 小時無銹蝕。螺母內(nèi)部采用氟橡膠密封圈(Viton 材質(zhì)),耐溫范圍 - 20℃至 + 200℃,在半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備的高溫(150℃)工況中仍能保持密封性能,防止工藝氣體滲入絲桿副。材料出氣率經(jīng)測試≤1×10??Pa?m3/s,滿足半導(dǎo)體真空腔室 10??Pa 級的高真空要求,避免材料揮發(fā)污染制程。
運(yùn)動可逆性的應(yīng)用:該公司的滾珠絲桿具有運(yùn)動可逆的特性,不僅能將絲桿的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動轉(zhuǎn)換為螺母(及負(fù)載滑塊)的直線運(yùn)動,還能輕易地將螺母的直線運(yùn)動轉(zhuǎn)換為絲桿的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。在一些自動化倉儲設(shè)備中,貨物的提升與下降通過滾珠絲桿實(shí)現(xiàn),當(dāng)電機(jī)驅(qū)動絲桿旋轉(zhuǎn)時,螺母帶動載貨平臺上升;而當(dāng)載貨平臺靠自重下降時,螺母的直線運(yùn)動又可帶動絲桿反向旋轉(zhuǎn),實(shí)現(xiàn)能量回收利用,提高設(shè)備的能源利用率。不過,由于運(yùn)動可逆,在絲桿豎直方向使用時,需增加制動裝置以防止意外滑落。磁流變彈性體隔振機(jī)床滾珠絲桿,有效抑制振動傳遞,提升精密加工表面質(zhì)量。
高精度加工工藝保障:臺寶艾傳動科技有限公司對滾珠絲桿的加工工藝有著嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。在絲桿制造環(huán)節(jié),運(yùn)用先進(jìn)的精密磨削技術(shù),確保絲桿螺紋的螺距精度極高,誤差可控制在極小范圍內(nèi)。螺母的加工同樣精細(xì),其內(nèi)部螺旋槽與絲桿完美匹配。在裝配過程中,通過專業(yè)設(shè)備精確調(diào)整滾珠數(shù)量與間隙,使得滾珠在滾道內(nèi)運(yùn)行平穩(wěn)順暢。這種高精度加工工藝使得滾珠絲桿在運(yùn)行時發(fā)熱少,能實(shí)現(xiàn)極高的傳動精度,可滿足如精密數(shù)控機(jī)床、半導(dǎo)體制造設(shè)備等對定位精度要求苛刻的領(lǐng)域。定期檢查滾珠絲桿的磨損情況,能預(yù)防設(shè)備故障。旋轉(zhuǎn)滾珠絲桿代理
滾珠絲桿在印刷機(jī)械的紙張輸送系統(tǒng)中不可或缺。深圳自動化滾珠絲桿代理商
在現(xiàn)代機(jī)床加工中,對滾珠絲桿的綜合性能要求愈發(fā)嚴(yán)苛。為滿足這一需求,新型機(jī)床滾珠絲桿采用復(fù)合熱處理工藝,先進(jìn)行真空淬火處理,使絲桿材料硬度達(dá)到 HRC60 以上,有效提升其耐磨性;隨后通過回火處理消除淬火應(yīng)力,增強(qiáng)材料韌性。在此基礎(chǔ)上,表面再進(jìn)行氮化處理,形成厚度約 0.3mm 的硬化層,硬度高達(dá) HV900,極大提高了絲桿的抗疲勞強(qiáng)度和耐腐蝕性。經(jīng)測試,采用該工藝的機(jī)床滾珠絲桿在連續(xù)運(yùn)行 2000 小時后,磨損量為 0.003mm,相比傳統(tǒng)處理工藝,使用壽命延長了 1.5 倍,為機(jī)床的高精度、長時間穩(wěn)定運(yùn)行提供了堅(jiān)實(shí)保障。深圳自動化滾珠絲桿代理商