熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI) 圖像分析是通過探測物體自身發(fā)出的紅外輻射，將其轉化為可視化圖像，進而分析物體表面溫度分布等信息的技術。其原理是溫度高于零度的物體都會向外發(fā)射紅外光，熱紅外顯微鏡通過吸收這些紅外光，利用光電轉換將其變?yōu)闇囟葓D像。物體內電荷擾動會產生遠場輻射和近場輻射，近場輻射以倏逝波形式存在，強度隨遠離物體表面急劇衰退，通過掃描探針技術可散射近場倏逝波，從而獲取物體近場信息，實現(xiàn)超分辨紅外成像。熱紅外顯微鏡憑借≤0.001℃的溫度分辨率，助力復雜半導體失效分析 。低溫熱熱紅外顯微鏡用途

無損熱紅外顯微鏡的非破壞性分析（NDA）技術，為失效分析提供了 “保全樣品” 的重要手段。它在不損傷高價值樣品的前提下，捕捉隱性熱信號以定位內部缺陷，既保障了分析的準確性，又為后續(xù)驗證、復盤保留了完整樣本，讓失效分析從 “找到問題” 到 “解決問題” 的閉環(huán)更高效、更可靠。

相較于無損熱紅外顯微鏡的非侵入式檢測，這些有損分析方法雖能獲取內部結構信息，但會破壞樣品完整性，更適合無需保留樣品的分析場景，與無損分析形成互補。 制冷熱紅外顯微鏡按需定制熱紅外顯微鏡對電子元件進行無損熱檢測，保障元件完整性 。

除了熱輻射，電子設備在出現(xiàn)故障或異常時，還可能伴隨微弱的光發(fā)射增強。熱紅外顯微鏡搭載高靈敏度的光學探測器，如光電倍增管（PMT）或電荷耦合器件（CCD），能夠有效捕捉這些低強度的光信號。這類光發(fā)射通常源自電子在半導體材料中發(fā)生的能級躍遷、載流子復合或其他物理過程。通過對光發(fā)射信號的成像和分析，熱紅外顯微鏡不僅能夠進一步驗證熱點區(qū)域的存在，還可輔助判斷異常的具體機制，為故障定位和性能評估提供更精確的信息。

制冷熱紅外顯微鏡因中樞部件精密（如深制冷探測器、鎖相熱成像模塊），故障維修對專業(yè)性要求極高，優(yōu)先建議聯(lián)系原廠。原廠掌握設備重要技術與專屬備件（如制冷型MCT探測器、高頻信號調制組件），能定位深制冷系統(tǒng)泄漏、鎖相算法異常等復雜問題，且維修后可保障性能參數（如0.1mK靈敏度、2μm分辨率）恢復至出廠標準，尤其適合半導體晶圓檢測等場景的精密設備。若追求更快響應速度，國產設備廠商是高效選擇。國內廠商在本土服務網絡布局密集，能快速上門處理機械結構松動、軟件算法適配等常見故障，且備件供應鏈短（如非制冷探測器、光學鏡頭等通用部件），維修周期可縮短30%-50%。對于PCB失效分析等場景的設備，國產廠商的本地化服務既能滿足基本檢測精度需求，又能減少停機對生產科研的影響。熱紅外顯微鏡助力科研人員研究新型材料的熱穩(wěn)定性與熱性能 。

致晟光電熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI）系列中的 RTTLIT P20 實時瞬態(tài)鎖相熱分析系統(tǒng)，采用鎖相熱成像（Lock-inThermography）技術，通過調制電信號提升特征分辨率與靈敏度，并結合軟件算法優(yōu)化信噪比，實現(xiàn)顯微成像下超高靈敏度的熱信號測量。RTTLIT P20搭載100Hz高頻深制冷型超高靈敏度顯微熱紅外成像探測器，測溫靈敏度達0.1mK，顯微分辨率低至2μm，具備良好的檢測靈敏度與測試效能。該系統(tǒng)重點應用于對測溫精度和顯微分辨率要求嚴苛的場景，包括半導體器件、晶圓、集成電路、IGBT、功率模塊、第三代半導體、LED及microLED等的失效分析，是電子集成電路與半導體器件失效分析及缺陷定位領域的關鍵工具。熱紅外顯微鏡通過熱成像技術，快速定位 PCB 板上的短路熱點 。自銷熱紅外顯微鏡應用

熱紅外顯微鏡通過測量熱輻射強度，量化評估電子元件的功耗 。低溫熱熱紅外顯微鏡用途

在微觀熱信號檢測領域，熱發(fā)射顯微鏡作為經典失效分析工具，為半導體與材料研究提供了基礎支撐。致晟光電的熱紅外顯微鏡，并非簡單的名稱更迭，而是由技術工程師團隊在傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡原理上，歷經多代技術創(chuàng)新與功能迭代逐步演變進化而來。這一過程中，團隊針對傳統(tǒng)設備在視野局限、信號靈敏度、分析尺度等方面的痛點，通過光學系統(tǒng)重構、信號處理算法升級、檢測維度拓展等創(chuàng)新，重新定義、形成了更適應現(xiàn)代微觀熱分析需求的技術體系。低溫熱熱紅外顯微鏡用途