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熱發(fā)射顯微鏡鎖相紅外熱成像系統(tǒng)應(yīng)用

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-07-24

在電子產(chǎn)業(yè)中,電激勵(lì)與鎖相熱成像系統(tǒng)的結(jié)合為電子元件檢測帶來了前所未有的高效解決方案。電激勵(lì)的原理是向電子元件施加特定頻率的周期性電流,利用電流通過導(dǎo)體時(shí)產(chǎn)生的焦耳效應(yīng),使元件內(nèi)部產(chǎn)生均勻且可控的熱量。當(dāng)元件存在短路、虛焊、內(nèi)部裂紋等缺陷時(shí),缺陷區(qū)域的熱傳導(dǎo)特性會(huì)與正常區(qū)域產(chǎn)生明顯差異,進(jìn)而導(dǎo)致溫度分布出現(xiàn)異常。鎖相熱成像系統(tǒng)憑借其高靈敏度的紅外探測能力和先進(jìn)的鎖相處理技術(shù),能夠捕捉這些細(xì)微的溫度變化,即使是微米級(jí)的缺陷也能被清晰識(shí)別。與傳統(tǒng)的探針檢測或破壞性檢測方法相比,這種非接觸式的檢測方式無需拆解元件,從根本上避免了對(duì)元件的損傷,同時(shí)還能實(shí)現(xiàn)大批量元件的快速檢測。例如,在手機(jī)芯片的批量質(zhì)檢中,該系統(tǒng)可在幾分鐘內(nèi)完成數(shù)百片芯片的檢測,提升了電子產(chǎn)業(yè)質(zhì)檢環(huán)節(jié)的效率和產(chǎn)品的可靠性。電激勵(lì)的波形選擇(正弦波、方波等)會(huì)影響熱信號(hào)的特征,鎖相熱成像系統(tǒng)需針對(duì)不同波形優(yōu)化處理算法。熱發(fā)射顯微鏡鎖相紅外熱成像系統(tǒng)應(yīng)用

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電子產(chǎn)業(yè)的存儲(chǔ)器芯片檢測中,電激勵(lì)的鎖相熱成像系統(tǒng)發(fā)揮著獨(dú)特作用,為保障數(shù)據(jù)存儲(chǔ)安全提供了有力支持。存儲(chǔ)器芯片如 DRAM、NAND Flash 等,是電子設(shè)備中用于存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的關(guān)鍵部件,其存儲(chǔ)單元的質(zhì)量直接決定了數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的可靠性。存儲(chǔ)單元若存在缺陷,如氧化層擊穿、接觸不良等,會(huì)導(dǎo)致數(shù)據(jù)丟失、讀寫錯(cuò)誤等問題。通過對(duì)存儲(chǔ)器芯片施加電激勵(lì),進(jìn)行讀寫操作,缺陷存儲(chǔ)單元會(huì)因電荷存儲(chǔ)異常而產(chǎn)生異常溫度。鎖相熱成像系統(tǒng)能夠定位這些缺陷單元的位置,幫助制造商在生產(chǎn)過程中篩選出合格的存儲(chǔ)器芯片,提高產(chǎn)品的合格率。例如,在檢測固態(tài)硬盤中的 NAND Flash 芯片時(shí),系統(tǒng)可以發(fā)現(xiàn)存在壞塊的存儲(chǔ)單元區(qū)域,這些區(qū)域在讀寫操作時(shí)溫度明顯升高。通過標(biāo)記這些壞塊并進(jìn)行屏蔽處理,能夠有效保障數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的安全,推動(dòng)電子產(chǎn)業(yè)存儲(chǔ)領(lǐng)域的健康發(fā)展。Thermal EMMI鎖相紅外熱成像系統(tǒng)訂制價(jià)格快速定位相比其他檢測技術(shù),鎖相熱成像技術(shù)能夠在短時(shí)間內(nèi)快速定位熱點(diǎn),縮短失效分析時(shí)間。

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光束誘導(dǎo)電阻變化(OBIRCH)功能與微光顯微鏡(EMMI)技術(shù)常被集成于同一檢測系統(tǒng),合稱為光發(fā)射顯微鏡(PEM,PhotoEmissionMicroscope)。二者在原理與應(yīng)用上形成巧妙互補(bǔ),能夠協(xié)同應(yīng)對(duì)集成電路中絕大多數(shù)失效模式,大幅提升失效分析的全面性與效率。OBIRCH技術(shù)的獨(dú)特優(yōu)勢在于,即便失效點(diǎn)被金屬層覆蓋形成“熱點(diǎn)”,其仍能通過光束照射引發(fā)的電阻變化特性實(shí)現(xiàn)精細(xì)檢測——這恰好彌補(bǔ)了EMMI在金屬遮擋區(qū)域光信號(hào)捕捉受限的不足。

鎖相熱成像系統(tǒng)與電激勵(lì)結(jié)合,為電子產(chǎn)業(yè)的芯片失效分析提供了一種全新的方法,幫助企業(yè)快速定位失效原因,改進(jìn)生產(chǎn)工藝。芯片失效的原因復(fù)雜多樣,可能是設(shè)計(jì)缺陷、材料問題、制造過程中的污染,也可能是使用過程中的靜電損傷、熱疲勞等。傳統(tǒng)的失效分析方法如切片分析、探針測試等,不僅操作復(fù)雜、耗時(shí)較長,而且可能會(huì)破壞失效芯片的原始狀態(tài),難以準(zhǔn)確找到失效根源。通過對(duì)失效芯片施加特定的電激勵(lì),模擬其失效前的工作狀態(tài),鎖相熱成像系統(tǒng)能夠記錄芯片表面的溫度變化過程,并將其與正常芯片的溫度數(shù)據(jù)進(jìn)行對(duì)比分析,從而找出失效位置和失效原因。例如,當(dāng)芯片因靜電損傷而失效時(shí),系統(tǒng)會(huì)檢測到芯片的輸入端存在異常的高溫區(qū)域;當(dāng)芯片因熱疲勞失效時(shí),會(huì)在芯片的焊接點(diǎn)處發(fā)現(xiàn)溫度分布不均的現(xiàn)象?;谶@些分析結(jié)果,企業(yè)可以有針對(duì)性地改進(jìn)生產(chǎn)工藝,減少類似失效問題的發(fā)生。鎖相熱紅外電激勵(lì)成像系統(tǒng)是由鎖相檢測模塊,紅外成像模塊,電激勵(lì)模塊,數(shù)據(jù)處理與顯示模塊組成。

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在當(dāng)今高科技蓬勃發(fā)展的時(shí)代,鎖相紅外熱成像系統(tǒng)也成其為“RTTLIT"以其獨(dú)特的優(yōu)勢,正逐漸成為紅外檢測領(lǐng)域的新寵。該系統(tǒng)采用先進(jìn)的鎖相技術(shù),能夠捕捉目標(biāo)物體的微小溫度變化,為各行業(yè)提供前所未有的熱成像解決方案。鎖相紅外熱成像系統(tǒng)優(yōu)勢在于其高靈敏度和高分辨率的熱成像能力。無論是在復(fù)雜的工業(yè)環(huán)境中,還是在精密的科研實(shí)驗(yàn)中,該系統(tǒng)都能以超凡的性能,準(zhǔn)確快速地識(shí)別出熱異常,從而幫助用戶及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題,有效預(yù)防潛在風(fēng)險(xiǎn)。
鎖相熱成像系統(tǒng)讓電激勵(lì)檢測更具實(shí)用價(jià)值。紅外光譜鎖相紅外熱成像系統(tǒng)用戶體驗(yàn)

電激勵(lì)與鎖相熱成像系統(tǒng),電子檢測黃金組合。熱發(fā)射顯微鏡鎖相紅外熱成像系統(tǒng)應(yīng)用

RTTLIT 系統(tǒng)采用了先進(jìn)的鎖相熱成像(Lock-In Thermography)技術(shù),這是一種通過調(diào)制電信號(hào)來大幅提升特征分辨率與檢測靈敏度的創(chuàng)新方法。在傳統(tǒng)的熱成像檢測中,由于背景噪聲和熱擴(kuò)散等因素的影響,往往難以精確檢測到微小的熱異常。而鎖相熱成像技術(shù)通過對(duì)目標(biāo)物體施加特定頻率的電激勵(lì),使目標(biāo)物體產(chǎn)生與激勵(lì)頻率相同的熱響應(yīng),然后通過鎖相放大器對(duì)熱響應(yīng)信號(hào)進(jìn)行解調(diào),只提取與激勵(lì)頻率相關(guān)的熱信號(hào),從而有效地抑制了背景噪聲,極大地提高了檢測的靈敏度和分辨率。 熱發(fā)射顯微鏡鎖相紅外熱成像系統(tǒng)應(yīng)用