致晟光電自主研發(fā)的熱紅外顯微鏡 Thermal EMMI P系列，是電子工業(yè)中不可或缺的精密檢測工具，在半導體芯片、先進封裝技術、功率電子器件以及印刷電路板（PCB）等領域的失效分析中發(fā)揮著舉足輕重的作用。

該設備搭載——實時瞬態(tài)鎖相紅外熱分析（RTTLIT）系統(tǒng)，并集成高靈敏度紅外相機、多倍率可選顯微鏡鏡頭、精確高低壓源表等技術組件，賦予其三大特性：超凡靈敏度與亞微米級檢測精度，可捕捉微弱熱信號與光子發(fā)射；高精度溫度測量能力（鎖相靈敏度達0.001℃），支持動態(tài)功耗分析；無損故障定位特性，無需破壞器件即可鎖定短路、開路等缺陷。憑借技術集成優(yōu)勢，ThermaEMMIP系列不僅能快速定位故障點，更能通過失效分析優(yōu)化產品質量與可靠性，為半導體制造、先進封裝及電子器件研發(fā)提供關鍵技術支撐。 熱紅外顯微鏡可捕捉物體熱輻射，助力電子元件熱分布與散熱性分析。自銷熱紅外顯微鏡探測器

致晟光電推出的多功能顯微系統(tǒng)，創(chuàng)新實現(xiàn)熱紅外與微光顯微鏡的集成設計，搭配靈活可選的制冷/非制冷模式，可根據您的實際需求定制專屬配置方案。這套設備的優(yōu)勢在于一體化集成能力：只需一套系統(tǒng)，即可同時搭載可見光顯微鏡、熱紅外顯微鏡及InGaAs微光顯微鏡三大功能模塊。這種設計省去了多設備切換的繁瑣，更通過硬件協(xié)同優(yōu)化提升了整體性能，讓您在同一平臺上輕松完成多波段觀測任務。相比單獨購置多套設備，該集成系統(tǒng)能大幅降低采購與維護成本，在保證檢測精度的同時，為實驗室節(jié)省空間與預算，真正實現(xiàn)性能與性價比的雙重提升。自銷熱紅外顯微鏡探測器定位芯片內部微短路、漏電、焊點虛接等導致的熱異常點。

在國內失效分析設備領域，專注于原廠研發(fā)與生產的企業(yè)數量相對較少，尤其在熱紅外檢測這類高精度細分領域，具備自主技術積累的原廠更為稀缺。這一現(xiàn)狀既源于技術門檻 —— 需融合光學、紅外探測、信號處理等多學科技術，也受限于市場需求的專業(yè)化程度，導致多數企業(yè)傾向于代理或集成方案。

致晟光電正是國內少數深耕該領域的原廠之一。不同于單純的設備組裝，其從中樞技術迭代入手，在傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡基礎上進化出熱紅外顯微鏡，形成從光學系統(tǒng)設計、信號算法研發(fā)到整機制造的完整能力。這種原廠基因使其能深度理解國內半導體、材料等行業(yè)的失效分析需求，例如針對先進制程芯片的微小熱信號檢測、國產新材料的熱特性研究等場景，提供更貼合實際應用的設備與技術支持，成為本土失效分析領域不可忽視的自主力量。

近年來，非制冷熱紅外顯微鏡價格呈下行趨勢。在技術進步層面，國內紅外焦平面陣列芯片技術不斷突破，像元間距縮小、陣列規(guī)模擴大，從早期的 17μm、384×288 發(fā)展到如今主流的 12μm 像元，1280 ×1 024、1920 × 1080 陣列規(guī)模實現(xiàn)量產，如大立科技等企業(yè)推動技術升級，提升生產效率，降低單臺設備成本。同時，國產化進程加速，多家本土廠商崛起，如我司推出非制冷型鎖相紅外顯微鏡，打破進口壟斷格局，市場競爭加劇，促使產品價格更加親民。熱紅外顯微技術可透過硅片或封裝材料，實現(xiàn)非接觸式熱斑定位。

熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI) 作為一種能夠捕捉微觀尺度熱輻射信號的精密儀器，其優(yōu)勢在于對材料、器件局部溫度分布的高空間分辨率觀測。

然而，在面對微弱熱信號（如納米尺度結構的熱輻射、低功耗器件的散熱特性等）時，傳統(tǒng)熱成像方法易受環(huán)境噪聲、背景輻射的干擾，難以實現(xiàn)精細測量。鎖相熱成像技術的引入，為熱紅外顯微鏡突破這一局限提供了關鍵解決方案。通過鎖相熱成像技術的賦能，熱紅外顯微鏡從 “可見” 微觀熱分布升級為 “可測” 納米級熱特性，為微觀尺度熱科學研究與工業(yè)檢測提供了不可或缺的工具。 熱紅外顯微鏡幫助工程師分析電子設備過熱的根本原因 。無損熱紅外顯微鏡工作原理

熱紅外顯微鏡對集成電路進行熱檢測，排查內部隱藏故障 。自銷熱紅外顯微鏡探測器

除了熱輻射，電子設備在出現(xiàn)故障或異常時，還可能伴隨微弱的光發(fā)射增強。熱紅外顯微鏡搭載高靈敏度的光學探測器，如光電倍增管（PMT）或電荷耦合器件（CCD），能夠有效捕捉這些低強度的光信號。這類光發(fā)射通常源自電子在半導體材料中發(fā)生的能級躍遷、載流子復合或其他物理過程。通過對光發(fā)射信號的成像和分析，熱紅外顯微鏡不僅能夠進一步驗證熱點區(qū)域的存在，還可輔助判斷異常的具體機制，為故障定位和性能評估提供更精確的信息。自銷熱紅外顯微鏡探測器