掃描透射電子顯微鏡(scanningtransmissionelectronmicroscopy，STEM)既有透射電子顯微鏡又有掃描電子顯微鏡的顯微鏡。像SEM一樣，STEM用電子束在樣品的表面掃描，但又象TEM，通過電子穿透樣品成像。STEM能夠獲得TEM所不能獲得的一些關(guān)于樣品的特殊信息。STEM技術(shù)要求較高，要非常高的真空度，并且電子學(xué)系統(tǒng)比TEM和SEM都要復(fù)雜。STEM成像不同于一般的平行電子束TEM，EDS成像，它是利用會聚的電子束在樣品上掃描來完成的。在掃描模式下，場發(fā)射電子源發(fā)射出電子，通過在樣品前磁透鏡以及光闌把電子束會聚成原子尺度的束斑。電子束斑聚焦在試樣表面后，通過線圈控制逐點掃描樣品的一個區(qū)域。在每掃描一點的同時，樣品下面的探測器同步接收被散射的電子。對應(yīng)于每個掃描位置的探測器接收到的信號轉(zhuǎn)換成電流強度顯示在熒光屏或計算機顯示器上。樣品上的每一點與所產(chǎn)生的像點一一對應(yīng)。從探測器中間孔洞通過的電子可以利用明場探測器形成一般**辨的明場像。環(huán)形探測器接受的電子形成暗場像中小學(xué)生航模器材批發(fā)供應(yīng).龍華環(huán)?？萍继骄科鞑亩嗌馘X

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