激光干涉儀是一種高精度的測量工具,以下是對其的詳細介紹:一、定義與原理激光干涉儀是以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量工具。其工作原理基于干涉原理,即當兩束波重疊并結(jié)合時,會產(chǎn)生新的波形模式。在激光干涉儀中,激光束被分為兩路,一路經(jīng)固定反射鏡反射,另一路經(jīng)可動反射鏡反射,兩束光重新匯合時產(chǎn)生干涉條紋。當可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化被轉(zhuǎn)換為電信號,進而計算出位移量。隨著激光技術(shù)和數(shù)據(jù)處理技術(shù)的發(fā)展,雙頻激光干涉儀的應(yīng)用范圍和測量精度將不斷提高?;⑶饏^(qū)本地雙頻激光干涉儀設(shè)備廠家
光源:提供相干光,通常是激光,因為激光具有高度的相干性,能夠產(chǎn)生穩(wěn)定的干涉條紋。分束器:將光束分成兩部分,通常使用半透半反鏡或分光棱鏡。反射鏡:調(diào)節(jié)光程差,確保兩束光在干涉屏(或檢測器)上相遇時具有合適的相位差。干涉屏(或檢測器):顯示干涉結(jié)果,或?qū)⒏缮婧蟮墓馐D(zhuǎn)換為電信號進行進一步分析。三、分類干涉儀可以按照不同的分類原則進行分類,常見的分類方法包括:按結(jié)構(gòu)區(qū)分:分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀。單路徑干涉儀中,干涉的波通過同一路徑傳播,如Sagnac干涉儀、等傾干涉和等厚干涉等;而多路徑干涉儀中,干涉的波通過不同的路徑傳播,如邁克爾遜干涉儀。昆山本地雙頻激光干涉儀哪家強法布里-干涉儀:由查爾斯·法布里和阿爾弗雷德·佩羅發(fā)明,主要用于高精度的光譜分析。
另一方面,當可動棱鏡移動時,前者的干涉信號是在**亮和**暗之間緩慢變化的信號,而后者的干涉信號是使原有的交流信號頻率增加或減少了△f,結(jié)果依然是一個交流信號。因而對于雙頻激光干涉儀來說,可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進行放大,這樣,即使光強衰減90%,依然可以得到合適的電信號。精度高雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。即使不做細分也可達到μm量級,細分后更可達到nm量級。應(yīng)用范圍廣雙頻激光干涉儀除了可用于長度的精密測量外,配上適當?shù)母郊€可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等等
經(jīng)M2反射的光三次穿過G2分光板,而經(jīng)M1反射的光通過G2分光板只一次。G1補償板的設(shè)置是為了消除這種不對稱。在使用單色光源時,可以利用空氣光程來補償,不一定要補償板;但在復(fù)色光源時,由于玻璃和空氣的色散不同,補償板則是不可或缺的。如果要觀察白光的干涉條紋,臂基本上完全對稱,也就是兩相干光的光程差要非常小,這時候可以看到彩色條紋;假若M1或M2有略微的傾斜,就可以得到等厚的交線處(d=0)的干涉條紋為中心對稱的彩色直條紋,**條紋由于半波損失為暗條紋。邁克爾遜和愛德華·威廉姆斯·莫雷使用這種干涉儀于1887年進行了***的邁克耳遜-莫雷實驗,并證實了以太的不存在。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標測量機等。
非接觸式測量:激光干涉儀可以不接觸物體表面就測量其形狀,這對于測量易碎或精細的物體非常有用。多功能性:激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作??垢蓴_能力強:雙頻激光干涉儀對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,因此抗干擾能力強。五、注意事項與維護注意事項:儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應(yīng)用。在移動儀器時,應(yīng)托住底座以防止導(dǎo)軌變形。光學(xué)零件在不用時,應(yīng)在清潔干燥的器皿中進行存放以防止發(fā)霉。在科學(xué)研究和工業(yè)檢測中,干涉儀是一種非常重要的工具。虎丘區(qū)本地雙頻激光干涉儀設(shè)備廠家
實時測量:可以實現(xiàn)實時監(jiān)測和數(shù)據(jù)采集,適合動態(tài)測量。虎丘區(qū)本地雙頻激光干涉儀設(shè)備廠家
按照干涉光來源區(qū)分干涉儀可以分成波前分解和幅度分解兩類, 其差異在于是否利用波前上不同位置的子波源形成干涉。 例如楊氏雙縫干涉即屬于波前分解干涉儀(鐘錫華, 陳熙謀, 2002) [3]; 而等傾干涉和等厚干涉即為幅度分解干涉儀。干涉儀的應(yīng)用極為***,主要有如下幾方面:長度測量在雙光束干涉儀中,若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定,則干涉條紋的移動是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成,根據(jù)條紋的移動數(shù)可進行長度的精確比較或***測量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀**涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長表示國際米。虎丘區(qū)本地雙頻激光干涉儀設(shè)備廠家
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