國際上，激光直寫設(shè)備是光掩模制備的主要工具，尤其在高世代TFT-Array掩模的平面圖形，面積可達(dá)110英寸（瑞典MICRONIC）單價(jià)高于1.5億元/套，制備一個(gè)線寬分辨率1.5微米的110吋光掩模單價(jià)500萬RMB；然而，這種激光直寫設(shè)備并不適用于微納3Ｄ形貌結(jié)構(gòu)和深紋圖形制備。已有的基于藍(lán)光405nm直接成像光刻（DIL）適合光刻分辨率較低的圖形，也不適用于3D結(jié)構(gòu)的灰度光刻。因此，面向柔性光電子材料與器件的需求，必須攻克大面積3D形貌的微結(jié)構(gòu)的高效高精度制備，解決海量數(shù)據(jù)高效率轉(zhuǎn)化、高精度數(shù)據(jù)迭代與疊加曝光，高速率飛行直寫技術(shù)的難題。Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技（上海）有限公司為您介紹Nanoscribe高速灰度光刻微納加工打印系統(tǒng)。山東工業(yè)級灰度光刻激光直寫

作為全球頭一臺(tái)雙光子灰度光刻激光直寫系統(tǒng)，QuantumX可以打印出具有出色形狀精度和光學(xué)質(zhì)量表面的高精度微納光學(xué)聚合物母版，可適用于批量生產(chǎn)的流水線工業(yè)程序，例如注塑，熱壓花和納米壓印等加工流程，從而拓展微納加工工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用。2GL與這些批量生產(chǎn)流水線工業(yè)程序的結(jié)合得益于新技術(shù)的亞微米分辨率和靈活性的特點(diǎn)，同時(shí)縮短創(chuàng)新微納光學(xué)器件（如衍射和折射光學(xué)器件）的整體制造時(shí)間。另外，QuantumX打印系統(tǒng)非常適合DOE的制作。該系統(tǒng)的無掩模光刻解決方案可以滿足衍射光學(xué)元件所需的橫向和縱向高分辨率要求?；陔p光子灰度光刻技術(shù)(2GL®)的QuantumX打印系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)一氣呵成的制作山東工業(yè)級灰度光刻激光直寫Nanoscribe中國分公司-納糯三維為您介紹Quantum X 雙光子灰度光刻微納打印設(shè)備應(yīng)用的領(lǐng)域。

這種設(shè)計(jì)策略不僅可用于改進(jìn)現(xiàn)有的傳感器，該項(xiàng)目還旨在展示具有動(dòng)態(tài)移動(dòng)部件的新型傳感器概念的可行性。在第二種設(shè)計(jì)中，研究人員在一根光纖的端面3D打印了一個(gè)微型轉(zhuǎn)子。從轉(zhuǎn)子上反射出的光脈沖可以被讀取，因此該傳感器可以被用于分析流速。FabryPérot傳感器進(jìn)行溫度和折射率感應(yīng)的測試裝置圖。圖片：資料來源見本文下方。通過動(dòng)態(tài)可旋轉(zhuǎn)的3D微納加工概念，研究人員展示了智能設(shè)計(jì)如何改進(jìn)現(xiàn)有的傳感器，并為整個(gè)新的微型化傳感器概念鋪平道路的能力。

傳統(tǒng)3D打印難以實(shí)現(xiàn)對于復(fù)雜設(shè)計(jì)或曲線形狀的高分辨率3D打印，必須切片并分為大量水平和垂直層。這會(huì)明顯增加對于平滑、曲線或精細(xì)結(jié)構(gòu)的打印時(shí)間。雙光子聚合技術(shù)（2PP）則可以解決這個(gè)難題。Nanosribe于2019年推出的雙光子灰度光刻技術(shù)（2GL®）可實(shí)現(xiàn)體素調(diào)節(jié)，從而明顯減少打印層數(shù)。這是通過掃描過程中的快速激光調(diào)制來實(shí)現(xiàn)的。并且，這項(xiàng)技術(shù)已從原先適用于。Nanoscribe于2023年推出雙光子灰度光刻3D打印技術(shù)3Dprintingby2GL®，該技術(shù)具備實(shí)現(xiàn)出色形狀精度的優(yōu)越打印品質(zhì)，并將Nanoscribe的灰度技術(shù)拓展到三維層面。整個(gè)打印過程在保持高速掃描的同時(shí)實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)調(diào)整激光功率。這使得聚合體素得到精確尺寸調(diào)整，以完美匹配任何3D形狀的輪廓。在無需切片步驟，不產(chǎn)生形狀失真的要求下，您將獲得具有無瑕疵光學(xué)級表面的任意3D打印設(shè)計(jì)的真實(shí)完美形狀?；陔p光子灰度光刻技術(shù) (2GL ?)的Quantum X打印系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)一氣呵成的制作。

微凹透鏡陣列結(jié)構(gòu)是光學(xué)器件中的一種常見組件，具有較強(qiáng)的聚焦和成像能力。以往制備此類結(jié)構(gòu)的方法有熱回流、灰度光刻、干法刻蝕和注射澆鑄等。受加工手段的限制，傳統(tǒng)的微透鏡陣列往往是在1個(gè)平板襯底上加工出一系列相同尺寸的凹透鏡結(jié)構(gòu)，這樣的1組微透鏡陣列無法將1個(gè)平面物體聚焦至1個(gè)像平面上，會(huì)產(chǎn)生場曲。在商業(yè)生產(chǎn)中，為了消除場曲這種光學(xué)像差，只能在后續(xù)光路中引入場鏡組來進(jìn)行校正，從而增加了器件復(fù)雜度和成本。如果采用3D飛秒激光打印來加工微凹透鏡陣列即可通過設(shè)計(jì)一系列具有漸變深度的微凹透鏡單元直接消除場曲。雙光子灰度光刻技術(shù)3D printing by 2GL?是?種基于2PP的 全新三維微加工技術(shù)。黑龍江高精度灰度光刻設(shè)備

Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技（上海）有限公司為您了解成熟的灰度光刻技術(shù)。山東工業(yè)級灰度光刻激光直寫

NanoscribeQuantumXalign作為前列的3D打印系統(tǒng)具備了A2PL®對準(zhǔn)雙光子光刻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)在光纖和光子芯片上的納米級精確對準(zhǔn)。全新灰度光刻3D打印技術(shù)3Dprintingby2GL®在實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的打印質(zhì)量同時(shí)兼顧打印速度，適用于微光學(xué)制造和光子封裝領(lǐng)域。3Dprintingby2GL®將Nanoscribe的灰度技術(shù)推向了三維層面。整個(gè)打印過程在最高速度掃描的同時(shí)實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)調(diào)制激光功率。這使得聚合的體素得到精確尺寸調(diào)整，以完美匹配任何3D形狀的輪廓。在無需切片步驟，不產(chǎn)生形狀失真的要求下，您將獲得具有無瑕疵光學(xué)表面的任意3D打印設(shè)計(jì)的真實(shí)完美形狀。山東工業(yè)級灰度光刻激光直寫