本發(fā)明具有以下有益的技術效果：本發(fā)明提供的高速高響應度的硅基光電二極管，通過適當減小耗盡區(qū)寬度和減小擴散區(qū)電阻率，耗盡區(qū)寬度減小導致響應度的降低，本發(fā)明通過增加高反層使得光子在耗盡區(qū)中二次吸收來補償；高反層的形成使得器件保持對長波響應度的同時，降低響應時間；由于擴散區(qū)(耗盡區(qū)以外的區(qū)域)材料電阻率很低，擴散區(qū)阻抗很小，因此擴散時間很短；從而實現(xiàn)硅基光電二極管高響應度與高響應速度同時提升。本發(fā)明提供的高速高響應度的硅基光電二極管，由于通過低阻材料降低了擴散區(qū)電阻，縮短了擴散時間；而高反層的設置提高了長波的吸收效率，降低了耗盡區(qū)的物理厚度，縮短了漂移時間，并且在其上開孔減小了擴散區(qū)的阻抗；襯底采用低電阻率材料，背面不用進行減薄注入，直接背面金屬化形成背面電極，避免了加工過程中碎片的情況。附圖說明圖1為本發(fā)明的結構圖示意圖；圖2為本發(fā)明的等效電路示意圖；圖3為本發(fā)明的高反層原理示意圖；圖4為多孔結構高反層的示意圖；圖5-1～圖5-7分別為本發(fā)明的逐層制備示意圖。圖6為本發(fā)明的硅基光電二極管的響應度測試曲線；圖7為本發(fā)明的硅基光電二極管的頻率特性測試曲線。硅pin光電二極管哪家棒！世華高。韶關國產(chǎn)硅光電二極管

具體實施方式下面結合實施例對本發(fā)明做進一步詳細描述，所述是對本發(fā)明的解釋而不是限定，一種高速高響應度的硅基光電二極管，包括背面設有背面電極108的襯底107；襯底107正面依次設有高反層(109、外延層101、注入層、氧化硅層、氮化硅層和正面金屬電極106；所述的高反層109上開設有用于形成電流路徑的刻蝕孔，以及與正面金屬電極106相對應的刻蝕區(qū)；所述的注入層包括保護環(huán)102以及設在其內(nèi)的有源區(qū)103；所述的正面金屬電極106還貫穿氧化硅層、氮化硅層與有源區(qū)103相連接。進一步的，所述的襯底107為電阻率20～100為ohm·cm的硅基襯底，襯底背面直接做金屬化處理形成背面電極108。所述的外延層101淀積在高反層109上；在外延層101上分別以n型離子注入形成保護環(huán)102，以p型離子注入形成有源區(qū)103；所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層104，所述的氮化硅層為淀積生長的si3n4層105；所述的正面金屬電極106是在濺射后經(jīng)刻蝕成形。參見圖2所示的光電二極管等效電路示意圖，rsh為光電二極管關斷阻抗，rsh＝∞，rs為光電二極管串聯(lián)電阻。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。廣東進口硅光電二極管型號濱松光電二極管哪家棒！世華高。

將上述sr摻雜batio3/znte工作電極放入光電化學反應器內(nèi)，與鉑片對電極組裝成兩電極體系，將該電極在+，所用溶液為碳酸丙烯酯，用去離子水清洗后，將光電極在真空條件下50℃干燥10h。之后，采用上海辰華chi660e電化學工作站，將極化后的sr摻雜batio3/znte工作電極和飽與鉑片對電極、飽和甘汞電極組裝成典型的三電極體系，電解質(zhì)溶液為。光電流測試前，往電解質(zhì)溶液中鼓co2半個小時，使溶液中的氧氣排盡，co2濃度達到飽和。圖4為本實施例制備的sr摻雜batio3/znte工作電極和水熱法制備的znte薄膜電極在。由圖可知，單獨的znte光電催化難以產(chǎn)生co產(chǎn)物，說明znte光陰極的大部分載流子不能與co2發(fā)生相互作用，導致界面載流子嚴重復合，co產(chǎn)生量很低。但是，sr摻雜batio3/znte工作電極的co產(chǎn)量明顯增加，說明sr摻雜batio3增加了znte表面的載流子濃度，間接證實了sr摻雜batio3的載流子分離作用。

便于操作人員將高壓二極管硅疊從石英玻璃罩1中取出；上固定板3的一側設有控制面板，控制面板的一側固定設有電磁鐵開關、溫度檢測儀開關、熔深檢測儀開關和感應線圈開關，電磁鐵6、溫度檢測儀13、熔深檢測儀14分別通過電磁鐵開關、溫度檢測儀開關、熔深檢測儀開關和感應線圈開關與外接電源電性連接。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負責光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經(jīng)過十余年的發(fā)展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。感應線圈16通過感應線圈開關與高頻加熱電源電性連接，真空電磁閥9、微型真空泵10、氮氣電磁閥11和氮氣充氣泵12均通過plc控制器4與外接電源電性連接。具體使用時，本實用新型一種高壓二極管硅疊中頻真空焊接系統(tǒng)，將待焊接硅疊放置在石英玻璃罩1下端的下固定板7上，放置好后。已被廣泛應用于新型太陽能電池、光電探測器和光電存儲器等領域。

設置靜電紡絲工藝參數(shù)：注射器推進速度3mm/h，紡絲電壓20kv，接收距離8cm，滾筒轉速200r/min，在固定于滾筒上的fto玻璃上接收固化的復合纖維，150℃烘箱中干燥過夜，烘干后置于550℃馬弗爐中煅燒2h，熱分解后即可獲得sr摻雜batio3薄膜電極；配制30ml濃度為、，攪拌均勻，轉入50ml水熱反應釜中。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負責光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經(jīng)過十余年的發(fā)展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。將sr摻雜batio3薄膜電極放入反應釜內(nèi)，fto導電面朝下，密封水熱反應釜，置于恒溫干燥箱中，180℃水熱反應6h；反應結束，取出fto電極，水洗3次，60℃下真空干燥8h；干燥后，將薄膜放入管式爐內(nèi)，氮氣保護條件下煅燒，控制煅燒溫度為300℃，煅燒時間為3h即可得sr摻雜batio3/znte光電極。濱松光電二極管選世華高半導體。無錫硅pin硅光電二極管參數(shù)

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通過適當減小耗盡區(qū)寬度和減小擴散區(qū)電阻率，耗盡區(qū)寬度減小導致響應度的降低，再通過增加高反層使得光子在較薄的耗盡區(qū)中二次吸收來補償，以減小耗盡區(qū)變薄對光響應度的影響(參見圖3)；高反層的形成使得器件保持對長波響應度的同時，降低響應時間；進一步，通過在高反層上刻孔形成均勻的電流路徑同時獲得高的響應速度(參見圖4)；由于擴散區(qū)(耗盡區(qū)以外的區(qū)域)材料電阻率很低，擴散區(qū)阻抗很小。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負責光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經(jīng)過十余年的發(fā)展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負責光電器件的制造。韶關國產(chǎn)硅光電二極管