致晟光電熱紅外顯微鏡采用高性能InSb(銦銻)探測(cè)器,用于中波紅外波段(3–5 μm)的熱輻射信號(hào)捕捉。InSb材料具有優(yōu)異的光電轉(zhuǎn)換效率和極低的本征噪聲,在制冷條件下可實(shí)現(xiàn)高達(dá)nW級(jí)的熱靈敏度和優(yōu)于20mK的溫度分辨率,適用于高精度、非接觸式熱成像分析。該探測(cè)器在熱紅外顯微系統(tǒng)中的應(yīng)用,提升了空間分辨率(可達(dá)微米量級(jí))與溫度響應(yīng)線(xiàn)性度,使其能夠?qū)Π雽?dǎo)體器件、微電子系統(tǒng)中的局部發(fā)熱缺陷、熱點(diǎn)遷移和瞬態(tài)熱行為進(jìn)行精細(xì)刻畫(huà)。配合致晟光電自主開(kāi)發(fā)的高數(shù)值孔徑光學(xué)系統(tǒng)與穩(wěn)態(tài)熱控平臺(tái),InSb探測(cè)器可在多物理場(chǎng)耦合背景下實(shí)現(xiàn)高時(shí)空分辨的熱場(chǎng)成像,是先進(jìn)電子器件失效分析、電熱耦合行為研究及材料熱特性評(píng)價(jià)中的關(guān)鍵。三維可視化通過(guò)相位信息實(shí)現(xiàn)微米級(jí)深度定位功能,能夠無(wú)盲區(qū)再現(xiàn)被測(cè)物內(nèi)部構(gòu)造。長(zhǎng)波鎖相紅外熱成像系統(tǒng)品牌排行
從技術(shù)原理來(lái)看,該設(shè)備構(gòu)建了一套完整的 “熱信號(hào)捕捉 - 解析 - 成像” 體系。其搭載的高性能探測(cè)器(如 RTTLIT P20 采用的 100Hz 高頻深制冷型紅外探測(cè)器)能敏銳捕捉中波紅外波段的熱輻射,配合 InGaAs 微光顯微鏡模塊,可同時(shí)實(shí)現(xiàn)熱信號(hào)與光子發(fā)射的同步觀測(cè)。在檢測(cè)過(guò)程中,設(shè)備先通過(guò)熱紅外顯微鏡快速鎖定可疑區(qū)域,再啟動(dòng) RTTLIT 系統(tǒng)的鎖相功能:施加周期性電信號(hào)激勵(lì)后,缺陷會(huì)產(chǎn)生與激勵(lì)頻率同步的微弱熱響應(yīng),鎖相模塊過(guò)濾掉環(huán)境噪聲,將原本被掩蓋的熱信號(hào)放大并成像。這種 “先定位、再聚焦” 的模式,既保證了檢測(cè)效率,又突破了傳統(tǒng)設(shè)備對(duì)微弱信號(hào)的檢測(cè)極限。工業(yè)檢測(cè)鎖相紅外熱成像系統(tǒng)探測(cè)器電激勵(lì)模式多樣,適配鎖相熱成像系統(tǒng)不同需求。
在電子領(lǐng)域,所有器件都會(huì)在不同程度上產(chǎn)生熱量。器件散發(fā)一定熱量屬于正常現(xiàn)象,但某些類(lèi)型的缺陷會(huì)增加功耗,進(jìn)而導(dǎo)致發(fā)熱量上升。在失效分析中,這種額外的熱量能夠?yàn)槎ㄎ蝗毕荼旧硖峁┯杏镁€(xiàn)索。熱紅外顯微鏡可以借助內(nèi)置攝像系統(tǒng)來(lái)測(cè)量可見(jiàn)光或近紅外光的實(shí)用技術(shù)。該相機(jī)對(duì)波長(zhǎng)在3至10微米范圍內(nèi)的光子十分敏感,而這些波長(zhǎng)與熱量相對(duì)應(yīng),因此相機(jī)獲取的圖像可轉(zhuǎn)化為被測(cè)器件的熱分布圖。通常,會(huì)先對(duì)斷電狀態(tài)下的樣品器件進(jìn)行熱成像,以此建立基準(zhǔn)線(xiàn);隨后通電再次成像。得到的圖像直觀呈現(xiàn)了器件的功耗情況,可用于隔離失效問(wèn)題。許多不同的缺陷在通電時(shí)會(huì)因消耗額外電流而產(chǎn)生過(guò)多熱量。例如短路、性能不良的晶體管、損壞的靜電放電保護(hù)二極管等,通過(guò)熱紅外顯微鏡觀察時(shí)會(huì)顯現(xiàn)出來(lái),從而使我們能夠精細(xì)定位存在缺陷的損壞部位。
致晟光電在推動(dòng)產(chǎn)學(xué)研一體化進(jìn)程中,積極開(kāi)展校企合作。公司依托南京理工大學(xué)光電技術(shù)學(xué)院,專(zhuān)注開(kāi)發(fā)基于微弱光電信號(hào)分析的產(chǎn)品及應(yīng)用。雙方聯(lián)合攻克技術(shù)難題,不斷優(yōu)化實(shí)時(shí)瞬態(tài)鎖相紅外熱分析系統(tǒng)(RTTLIT),使該系統(tǒng)溫度靈敏度可達(dá)0.0001℃,功率檢測(cè)限低至1uW,部分功能及參數(shù)優(yōu)于進(jìn)口設(shè)備。此外,致晟光電還與其他高校建立合作關(guān)系,搭建起學(xué)業(yè)-就業(yè)貫通式人才孵化平臺(tái)。為學(xué)生提供涵蓋研發(fā)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)實(shí)踐、項(xiàng)目管理全鏈條的育人平臺(tái),輸送了大量實(shí)踐能力強(qiáng)的專(zhuān)業(yè)人才,為企業(yè)持續(xù)創(chuàng)新注入活力。通過(guò)建立科研成果產(chǎn)業(yè)孵化綠色通道,高校的前沿科研成果得以快速轉(zhuǎn)化為實(shí)際生產(chǎn)力,實(shí)現(xiàn)了高??蒲匈Y源與企業(yè)市場(chǎng)轉(zhuǎn)化能力的優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)。鎖相熱成像系統(tǒng)借電激勵(lì),捕捉細(xì)微溫度變化辨故障。
致晟光電推出的多功能顯微系統(tǒng),創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)熱紅外與微光顯微鏡的集成設(shè)計(jì),搭配靈活可選的制冷/非制冷模式,可根據(jù)您的實(shí)際需求定制專(zhuān)屬配置方案。這套設(shè)備的優(yōu)勢(shì)在于一體化集成能力:只需一套系統(tǒng),即可同時(shí)搭載可見(jiàn)光顯微鏡、熱紅外顯微鏡及InGaAs微光顯微鏡三大功能模塊。這種設(shè)計(jì)省去了多設(shè)備切換的繁瑣,更通過(guò)硬件協(xié)同優(yōu)化提升了整體性能,讓您在同一平臺(tái)上輕松完成多波段觀測(cè)任務(wù)。相比單獨(dú)購(gòu)置多套設(shè)備,該集成系統(tǒng)能大幅降低采購(gòu)與維護(hù)成本,在保證檢測(cè)精度的同時(shí),為實(shí)驗(yàn)室節(jié)省空間與預(yù)算,真正實(shí)現(xiàn)性能與性?xún)r(jià)比的雙重提升。鎖相熱成像系統(tǒng)讓電激勵(lì)檢測(cè)效率大幅提升。無(wú)損鎖相紅外熱成像系統(tǒng)用途
鎖相熱成像系統(tǒng)提升電激勵(lì)檢測(cè)的缺陷識(shí)別率。長(zhǎng)波鎖相紅外熱成像系統(tǒng)品牌排行
在實(shí)際應(yīng)用中,這款設(shè)備已成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的 “故障診斷利器”。在晶圓制造環(huán)節(jié),它能通過(guò)熱分布成像識(shí)別光刻缺陷導(dǎo)致的局部漏電;在芯片封裝階段,可定位引線(xiàn)鍵合不良引發(fā)的接觸電阻過(guò)熱;針對(duì) IGBT 等功率器件,能捕捉高頻開(kāi)關(guān)下的瞬態(tài)熱行為,提前預(yù)警潛在失效風(fēng)險(xiǎn)。某半導(dǎo)體企業(yè)在檢測(cè)一批失效芯片時(shí),傳統(tǒng)熱成像設(shè)備能看到模糊的發(fā)熱區(qū)域,而使用致晟光電的一體化設(shè)備后,通過(guò)鎖相技術(shù)發(fā)現(xiàn)發(fā)熱區(qū)域內(nèi)存在一個(gè) 2μm 的微小熱點(diǎn),終定位為芯片內(nèi)部的金屬離子遷移缺陷 —— 這類(lèi)缺陷若未及時(shí)發(fā)現(xiàn),可能導(dǎo)致產(chǎn)品在長(zhǎng)期使用中突然失效。長(zhǎng)波鎖相紅外熱成像系統(tǒng)品牌排行